据杭州经信官微消息，近日，位于杭州城西科创大走廊的浙江大学成果转化基地传出喜讯：首台国产商业化电子束光刻机已在客户现场进入应用测试，其精度比肩国际主流设备，标志着量子芯片研发从此有了“中国刻刀”。
据悉，依托省重点实验室，研究院自主研发的新一代100kV电子束光刻机“羲之”已正式走向市场。团队负责人称：“这不是普通的机器，而是一支能在头发丝上雕刻出整座城市地图的‘纳米神笔’！”
据研发团队相关负责人介绍，取名“羲之”，是因其在芯片上刻写电路的精密“书写”能力与书法家王羲之的毛笔神韵相契合。这台设备专攻量子芯片、新型半导体研发的核心环节，通过高能电子束在硅基上“手写”电路，精度达到0.6nm，线宽8nm，可灵活修改设计无需掩膜版，如同用纳米级毛笔在芯片上精准作画，特别适合芯片研发初期的反复调试。
据了解，此类设备先前长期受国际出口管制，国家实验室、中科大、之江实验室等国内顶尖科研机构长期无法采购。“羲之”的落地彻底打破这一困局，其定价低于国际均价，目前已与华为海思等企业及多家科研机构展开接洽。
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