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扬杰科技申请一种改善双极退化的碳化硅 MOSFET 器件及制备方法的专利
2024/9/6

天眼查知识产权信息显示,扬州扬杰电子科技股份有限公司申请一项名为“一种改善双极退化的碳化硅 MOSFET 器件及制备方法“,公开号 CN202410623592.6,申请日期为 2024 年 5 月。

专利摘要显示,一种改善双极退化的碳化硅 MOSFET 器件及制备方法。涉及半导体技术领域。包括如下步骤:S100,在碳化硅衬底上外延生长形成碳化硅漂移层;S200,在碳化硅漂移层源区形成 N+区;S300,在碳化硅漂移层形成 PW 区;S400,在 PW 区形成 Spacer 层,通过离子注入形成 NP 区;S500,在 PW 区形成 PP 区;S600,在碳化硅漂移层形成 JFET 区;S700,在碳化硅漂移层顶面形成栅氧层;S800,在栅氧层上通过沉积多晶硅形成 Poly 层,作为栅电极引出;S900,在 Poly 层上通过沉积形成与 Poly 层和 NP 区相接触的隔离介质层,隔绝栅极和源级,避免两处短接;本发明降低器件电阻,提高器件通流能力,降低了器件发生双极退化的可能性。

 
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